Исследование и разработка методов защиты поверхности кремниевых фотодиодов с применением ионной имплантации: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Сорокин Константин Викторович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад48387,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сорокин, К. В.
Опубликовано: М. , 2000
Физические характеристики: 19 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br315197
005 20240221133637.0
100 # # $a 20010212d2000 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование и разработка методов защиты поверхности кремниевых фотодиодов с применением ионной имплантации  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.06  $f Сорокин Константин Викторович  $g [Моск. гос. акад. тонкой хим. технологии им. М.В.Ломоносова] 
210 # # $a М.  $d 2000 
215 # # $a 19 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 18-19 (11 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36384  $a ФОТОДИОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar69630  $a ФОТОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58309  $a ГЕТТЕРИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23904  $a ПОВЕРХНОСТИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36385  $a ФОТАДЫЁДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar69631  $a ФОТАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58310  $a ГЕТЭРАВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23905  $a ПАВЕРХНІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24593  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
610 0 # $a КРЕМНИЕВЫЕ ПРИБОРЫ 
610 0 # $a КРЭМНІЕВЫЯ ПРЫБОРЫ 
686 # # $a 47.33.37  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-486977  $a Сорокин  $b К. В.  $g Константин Викторович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20010212  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo