|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br310198 |
| 005 |
20070615191222.8 |
| 100 |
# |
# |
$a 20010118d2000 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование диэлектрических слоев интегральных схем методами химического осаждения
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e 05.27.01
$f Воротилов Константин Анатольевич
$g Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики (техн. ун-т)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2000
|
| 215 |
# |
# |
$a 45 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 39-45 (49 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29520
$a СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9580
$a ДЫЭЛЕКТРЫЧНЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29521
$a СЕГНЕТАЭЛЕКТРЫКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9579
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 51.13.21
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-485846
$a Воротилов
$b К. А.
$g Константин Анатольевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20010118
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
