Техника распыления ионными пучками / А.П.Семенов

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок206850,
Вид документа: Книги
Автор: Семенов, А. П.
Опубликовано: Улан-Удэ : БНЦ СО РАН , 1996
Физические характеристики: 118, [2] с. ; 20 см.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br297958
005 20070615165850.8
010 # # $a 5-7623-1110-4  $d Б.ц. 
100 # # $a 20001221d1996 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Техника распыления ионными пучками  $d Ion beams sputtering techniques  $f А.П.Семенов  $g [Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Бурят. науч. центр, Ин-т естеств. наук] 
210 # # $a Улан-Удэ  $c БНЦ СО РАН  $d 1996 
215 # # $a 118, [2] с.  $d 20 см. 
300 # # $a Библиогр.: с. 106-119 (181 назв.). 
345 # # $9 300 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12180  $a ИОННЫЕ ПУЧКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27459  $a РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6761  $a ЭЛЕКТРЫЧНЫЯ РАЗРАДЫ Ў ГАЗАХ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27460  $a РАСПЫЛЕННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38927  $a ЭЛЕКТРАВАКУУМНЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38926  $a ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6760  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ РАЗРЯДЫ В ГАЗАХ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12181  $a ІОННЫЯ ПУЧКІ  $2 DVNLB 
675 # # $a 537.534  $v 3  $z rus 
675 # # $a 537.525  $v 3  $z rus 
675 # # $a 621.384.6  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.27.43  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.51  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.14.05  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.31  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-382110  $a Семенов  $b А. П.  $g Александр Петрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20001221  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo