Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.16.03 / Батов Дмитрий Викторович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Батов, Д. В. |
| Wydane: | М. , 2000 |
| Opis fizyczny: |
22 с.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||