Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.16.03 / Батов Дмитрий Викторович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Батов, Д. В. |
| Publié: | М. , 2000 |
| Description matérielle: |
22 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||