Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.16.03 / Батов Дмитрий Викторович
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Батов, Д. В. |
| Publicado: | М. , 2000 |
| Descripción Física: |
22 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||