Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.16.03 / Батов Дмитрий Викторович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Батов, Д. В. |
| Published: | М. , 2000 |
| Physical Description: |
22 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||