Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.16.03 / Батов Дмитрий Викторович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Батов, Д. В. |
| Апублікавана: | М. , 2000 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
22 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||