|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br295697 |
| 005 |
20231023115621.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20001205d2000 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.16.03
$f Батов Дмитрий Викторович
$g [Моск. гос. ин-т стали и сплавов]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2000
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 21-22 (8 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar58864
$a РЕЦИРКУЛЯЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar63185
$a МИКРОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2187791
$a КАРБИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60491
$a ГАЗОВАЯ ФАЗА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25538
$a ПРИМЕСИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar58865
$a РЭЦЫРКУЛЯЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar63186
$a МІКРАКРЫШТАЛІЧНЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2187793
$a КАРБІД КРЭМНІЮ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60492
$a ГАЗАВАЯ ФАЗА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25539
$a ПРЫМЕСІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22115
$a АСАДЖЭННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22186
$a ОСОБО ЧИСТЫЕ ВЕЩЕСТВА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 53.37.13
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.16.03
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-480168
$a Батов
$b Д. В.
$g Дмитрий Викторович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20001205
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
