Моделирование диффузионных процессов изотермической жидкофазной эпитаксии полупроводников: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Савченко Владислав Анатольевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад45519,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Савченко, В. А.
Опубликовано: Воронеж , 2000
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br295075
005 20090227154251.0
100 # # $a 20001201d2000 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Моделирование диффузионных процессов изотермической жидкофазной эпитаксии полупроводников  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.06  $f Савченко Владислав Анатольевич  $g [Воронеж. гос. техн. ун-т] 
210 # # $a Воронеж  $d 2000 
215 # # $a 17 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 16-17 (18 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9565  $a ДИФФУЗИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39284  $a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9566  $a ДЫФУЗІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39077  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15213  $a КРЫШТАЛІЗАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39285  $a ЭЛЕКТРАФІЗІЧНЫЯ ЎЛАСЦІВАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15212  $a КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3161246  $a ЖИДКОСТНАЯ ЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-479102  $a Савченко  $b В. А.  $g Владислав Анатольевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20001201  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo