Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Щербакова Елена Николаевна
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Щербакова, Е. Н. |
| Publié: | Мн. , 2000 |
| Description matérielle: |
20 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||