Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Щербакова Елена Николаевна
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Щербакова, Е. Н. |
| Veröffentlicht: | Мн. , 2000 |
| Beschreibung: |
20 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Verfügbar Bestellen | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||