Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Щербакова Елена Николаевна
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Щербакова, Е. Н. |
| Апублікавана: | Мн. , 2000 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
20 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||