Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Щербакова Елена Николаевна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Щербакова, Е. Н. |
| Опубликовано: | Мн. , 2000 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||