Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Щербакова Елена Николаевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад45358, 2Н//179026(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Щербакова, Е. Н.
Опубликовано: Мн. , 2000
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
Предмет:
ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ
ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
ТУГОПЛАВКИЕ МЕТАЛЛЫ
ФІЗІКА ЦВЁРДАГА ЦЕЛА
КАНДЭНСАВАНЫ СТАН
ФАЗАВЫЯ ПЕРАХОДЫ
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ
ТУГАПЛАЎКІЯ МЕТАЛЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br294519
005 20220505115642.0
100 # # $a 20001128d2000 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 05.27.01  $f Щербакова Елена Николаевна  $g Нац. акад. наук Беларуси, Ин-т электроники 
210 # # $a Мн.  $d 2000 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 16-18 (27 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35849  $a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83953  $a КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35611  $a ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34794  $a ТУГОПЛАВКИЕ МЕТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35850  $a ФІЗІКА ЦВЁРДАГА ЦЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83954  $a КАНДЭНСАВАНЫ СТАН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35612  $a ФАЗАВЫЯ ПЕРАХОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34176  $a ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34795  $a ТУГАПЛАЎКІЯ МЕТАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 538.91(043.3)  $v 3  $z rus 
675 # # $a 539.216.2(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.15  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.04  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-469859  $a Щербакова  $b Е. Н.  $g Елена Николаевна  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20001128  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2Ad45358.pdf 

Схожие документы