|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br272479 |
| 005 |
20160518114829.1 |
| 100 |
# |
# |
$a 20000913d2000 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук
$e 02.00.04
$f Карами Юсеф
$g [С.-Петерб. гос. технол. ин-т]
|
| 210 |
# |
# |
$a СПб.
$d 2000
|
| 215 |
# |
# |
$a 17 с.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23808
$a ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60491
$a ГАЗОВАЯ ФАЗА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35921
$a ФИЗИЧЕСКАЯ ХИМИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23809
$a ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60492
$a ГАЗАВАЯ ФАЗА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35922
$a ФІЗІЧНАЯ ХІМІЯ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a МЕТИЛСИЛАН
|
| 610 |
0 |
# |
$a МЕТЫЛСІЛАН
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.27
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 02.00.04
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-475673
$a Карами
$b Ю.
$g Юсеф
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20000913
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
