Исследование структурного совершенства и пути повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Вотинцева Елена Евгеньевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад43130,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Вотинцева, Е. Е.
Опубликовано: М. , 2000
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br270653
005 20070615191047.5
100 # # $a 20000823d2000 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование структурного совершенства и пути повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.06  $f Вотинцева Елена Евгеньевна  $g [Моск. гос. акад. тонкой хим. технологии им. М.В.Ломоносова, ГИРЕДМЕТ] 
210 # # $a М.  $d 2000 
215 # # $a 17 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 16-17. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18851  $a МОНОКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25538  $a ПРИМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24589  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18852  $a МОНАКРЫШТАЛІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25539  $a ПРЫМЕСІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-474686  $a Вотинцева  $b Е. Е.  $g Елена Евгеньевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20000823  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo