Радиационные дефекты междоузельного типа и их влияние на электрическую активацию и диффузию имплантированных примесей в кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / Бел. гос. ун-т

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад40799, 2Н//131249(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Челядинский, А. Р. (род. 1945)
Опубликовано: Мн. , 2000
Физические характеристики: 40 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br254311
005 20130429104339.1
100 # # $a 20000412d2000 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Радиационные дефекты междоузельного типа и их влияние на электрическую активацию и диффузию имплантированных примесей в кремнии  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук  $e 01.04.10  $f Бел. гос. ун-т 
210 # # $a Мн.  $d 2000 
215 # # $a 40 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 29-37 (83 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26910  $a РАДЫЯЦЫЙНЫЯ ДЭФЕКТЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 537.311.322:539.16.04(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrrb 
686 # # $a 29.19.21  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-191851  $a Челядинский  $b А. Р.  $g Алексей Романович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1945 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20000412  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br254311&fileID=758923