Тонкопленочные микросхемы на основе алюминия и его оксидов для криогенных температур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад40738, 2Н//179386(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Короткевич, А. В. (род. 1961)
Опубликовано: Мн. , 2000
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br253962
005 20131008101348.0
100 # # $a 20000407d2000 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Тонкопленочные микросхемы на основе алюминия и его оксидов для криогенных температур  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $f Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники 
210 # # $a Мн.  $d 2000 
215 # # $a 24 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 17-21 (40 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34173  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2262  $a АЛЮМИНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20754  $a НИЗКИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34174  $a ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2263  $a АЛЮМІНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33871  $a ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20755  $a НІЗКІЯ ТЭМПЕРАТУРЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-377320  $a Короткевич  $b А. В.  $g Александр Васильевич  $c кандидат технических наук  $f род. 1961 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20000407  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad40738.pdf