Разработка процесса и оптимизация технологии нанесения тонкопленочных упрочняющих кремнийсодержащих покрытий осаждением из дуговой плазмы: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.03.06: 27.05.1999: 15.09.1999 / Могилев. машиностроит. ин-т
Saved in:
Format: | |
---|---|
Main Author: | Голозубов, А. Л. |
Published: | Могилев , 1999 |
Language: | Russian |
Subjects: | |
E-document: |
E-document
|
ОФХ диссертаций
All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|