Электронная микроскопия имплантированных структур на основе карбида кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Рос. акад. наук, Физ.-техн. ин-т им. А.Ф.Иоффе

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад38932,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Суворова, А. А.
Опубликовано: СПб. , 1999
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br244021
005 20180226102434.0
100 # # $a 20000127d1999 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Электронная микроскопия имплантированных структур на основе карбида кремния  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.10  $f Рос. акад. наук, Физ.-техн. ин-т им. А.Ф.Иоффе 
210 # # $a СПб.  $d 1999 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 15-16 (10 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39126  $a ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9575  $a ДИЭЛЕКТРИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2262  $a АЛЮМИНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39127  $a ЭЛЕКТРОННАЯ МІКРАСКАПІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9576  $a ДЫЭЛЕКТРЫКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2263  $a АЛЮМІНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.35.43  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-465683  $a Суворова  $b А. А.  $g Александра Александровна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20000127  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo