|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
001 |
BY-NLB-br244021 |
005 |
20180226102434.0 |
100 |
# |
# |
$a 20000127d1999 u y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Электронная микроскопия имплантированных структур на основе карбида кремния
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$e 01.04.10
$f Рос. акад. наук, Физ.-техн. ин-т им. А.Ф.Иоффе
|
210 |
# |
# |
$a СПб.
$d 1999
|
215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 15-16 (10 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39126
$a ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9575
$a ДИЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2262
$a АЛЮМИНИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39127
$a ЭЛЕКТРОННАЯ МІКРАСКАПІЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24595
$a ПАЎПРАВАДНІКІ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9576
$a ДЫЭЛЕКТРЫКІ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2263
$a АЛЮМІНІЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 29.35.43
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-465683
$a Суворова
$b А. А.
$g Александра Александровна
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20000127
$g psbo
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|