Исследование процессов удаления фоторезиста и травления окисла кремния в плазме высокочастотного индукционного разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.08 Физика и химия плазмы / Никифоренко Николай Николаевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Никифоренко, Н. Н. |
| Опубликовано: | Минск , 1980 |
| Физические характеристики: |
16 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||