Контроль плотности сверхлегких диэлектрических материалов методами радиоволновой эллипсометрии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.11.13 / Акад. наук Бел. ССР, Ин-т прикладной физики

Сохранено в:
Шифр документа: Ба215488,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Тиханович, С. А.
Опубликовано: Мн. , 1986
Физические характеристики: 18 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br233809
005 20171121111607.0
100 # # $a 19981202d1986 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Контроль плотности сверхлегких диэлектрических материалов методами радиоволновой эллипсометрии  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.11.13  $f Акад. наук Бел. ССР, Ин-т прикладной физики 
210 # # $a Мн.  $d 1986 
215 # # $a 18 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 16-18 (20 назв.).- Для служ. пользования. Экз. N ... 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9579  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60422  $a ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26981  $a РАДИОВОЛНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26982  $a РАДЫЁХВАЛІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20473  $a НЕРАЗБУРАЛЬНЫ КАНТРОЛЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20472  $a НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9580  $a ДЫЭЛЕКТРЫЧНЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
610 0 # $a Эліпсометрыя 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.61.01:539.211.082.5(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 45.09.37  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.01  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-223192  $a Тиханович  $b С. А.  $g Сергей Александрович  $c дефектоскопия 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19981202  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba215488.pdf