Исследование процесса получения и свойств поликристаллических пленок кремния и германия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Ковалевский Александр Адамович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Ковалевский, А. А. (род. 1942) |
| Wydane: | Минск , 1979 |
| Opis fizyczny: |
23 с.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||