|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br233491 |
| 005 |
20200408144444.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19981001d1979 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование процесса получения и свойств поликристаллических пленок кремния и германия
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование
$f Ковалевский Александр Адамович
$g Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники АН БССР
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1979
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22―23
|
| 333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25895
$a ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7308
$a ГЕРМАНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24345
$a ПОЛИКРИСТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77:539.216.2(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.63
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.18
$2 nsnrsssr
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-224759
$a Ковалевский
$b А. А.
$g Александр Адамович
$c кандидат технических наук, электроника
$f род. 1942
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2460032
$a Институт электроники
$c Минск
$4 995
$4 595
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19981001
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba164799.pdf
|
