Технология приповерхностных слоев и пленочных кантактов кремниевых полупровдниковых приборов высшей категории качества: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук в форме науч. докл.: 05.27.01 / Мин. радиотехн. ин-т

Сохранено в:
Шифр документа: Ба221263,
Вид документа: Диссертации
Автор: Тарасевич, А. И.
Опубликовано: Мн. , 1988
Физические характеристики: 28 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br230230
005 20180110114443.0
100 # # $a 19981208d1988 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 000yy 
109 # # $a aa  $a ab 
200 1 # $a Технология приповерхностных слоев и пленочных кантактов кремниевых полупровдниковых приборов высшей категории качества  $e Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук в форме науч. докл.  $e 05.27.01  $f Мин. радиотехн. ин-т 
210 # # $a Мн.  $d 1988 
215 # # $a 28 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 26-28 (28 назв.).- Для служ. пользования. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23808  $a ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24593  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24589  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23809  $a ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.592(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 45.09.35  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-296392  $a Тарасевич  $b А. И.  $g Анатолий Иосифович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19981208  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba221263.pdf