Разработка технологического процесса изготовления тонкопленочных конденсаторов ГИМС на основе анодных оксидных пленок, содержащих редкоземельные металлы: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Мин. радиотехн. ин-т

Сохранено в:
Шифр документа: Ба231547,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сацук, С. М.
Опубликовано: Мн. , 1989
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br230018
005 20180412150912.0
100 # # $a 19981110d1989 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Разработка технологического процесса изготовления тонкопленочных конденсаторов ГИМС на основе анодных оксидных пленок, содержащих редкоземельные металлы  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01)  $f Мин. радиотехн. ин-т 
210 # # $a Мн.  $d 1989 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 20-22 (13 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7404  $a ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27779  $a РЕДКОЗЕМЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33871  $a ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27780  $a РЭДКАЗЯМЕЛЬНЫЯ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7405  $a ГІБРЫДНЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.776.21.002(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-296986  $a Сацук  $b С. М.  $g Сергей Михайлович  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19981110  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba231547.pdf