Исследование и разработка конструкций и технологий создания тонкопленочных туннельных металл-диэлектрик-металл структур для криоэлектронных компонентов интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Лыньков Леонид Михайлович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Лыньков, Л. М. (род. 1949) |
| Publié: | Минск , 1980 |
| Description matérielle: |
23, [1] с. : ил., табл.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||