Исследование и разработка конструкций и технологий создания тонкопленочных туннельных металл-диэлектрик-металл структур для криоэлектронных компонентов интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Лыньков Леонид Михайлович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Лыньков, Л. М. (род. 1949) |
| Апублікавана: | Минск , 1980 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
23, [1] с. : ил., табл.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||