Исследование и разработка конструкций и технологий создания тонкопленочных туннельных металл-диэлектрик-металл структур для криоэлектронных компонентов интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Лыньков Леонид Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: Ба172807, БА170813,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Лыньков, Л. М. (род. 1949)
Опубликовано: Минск , 1980
Физические характеристики: 23, [1] с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br228877
005 20200930085850.0
100 # # $a 19981015d1980 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование и разработка конструкций и технологий создания тонкопленочных туннельных металл-диэлектрик-металл структур для криоэлектронных компонентов интегральных микросхем  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование  $f Лыньков Леонид Михайлович  $g Минский радиотехнический институт 
210 # # $a Минск  $d 1980 
215 # # $a 23, [1] с.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография в конце текста (20 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar79621  $a КРИОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2440898  $a Лыньков  $b Л. М.  $g Леонид Михайлович  $c доктор технических наук  $f род. 1949 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar5102567  $a Минский радиотехнический институт  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19981015  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba170813.pdf