|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br227342 |
| 005 |
20180313154007.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19980909d1989 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Магнетронные распылительные системы для нанесения тонких пленок с заданным распределением толщины
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.07
$f АН БССР, Ин-т электроники
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 13 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Для служ. пользования. Экз. N ...- Библиогр.: с.12-13 (12 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27459
$a РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4861
$a ВАКУУМНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19559
$a НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12169
$a ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27460
$a РАСПЫЛЕННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4862
$a ВАКУУМНЫЯ ПАКРЫЦЦІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:621.793.18(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.01
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-294469
$a Ивахненко
$b В. Н.
$g Виктор Николаевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19980909
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba230993.pdf
|
