Структурно-фазовая неоднородность и свойства компонентов интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.07 Физика твердого тела / Заико Александр Федорович

Сохранено в:
Шифр документа: Ба207667,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Заико, А. Ф.
Опубликовано: Минск , 1986
Физические характеристики: 16, [1] с.
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
ПОЛНОЕ ВНЕШНЕЕ ОТРАЖЕНИЕ
РЕНТГЕНОВСКОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
СТРУКТУРА ПОВЕРХНОСТИ
РЕНТГЕНОВСКИЙ ФАЗОВЫЙ АНАЛИЗ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br226883
005 20220316095827.0
100 # # $a 19980909d1986 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Структурно-фазовая неоднородность и свойства компонентов интегральных схем  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 01.04.07 Физика твердого тела  $f Заико Александр Федорович  $g Академия наук БССР, Институт физики твердого тела и полупроводников 
210 # # $a Минск  $d 1986 
215 # # $a 16, [1] с. 
320 # # $a Библиография в конце текста (10 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4314367  $a ПОЛНОЕ ВНЕШНЕЕ ОТРАЖЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28135  $a РЕНТГЕНОВСКОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2775861  $a СТРУКТУРА ПОВЕРХНОСТИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2138578  $a РЕНТГЕНОВСКИЙ ФАЗОВЫЙ АНАЛИЗ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.216.2:539.26(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.03.05  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.25  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-SEK-293405  $a Заико  $b А. Ф.  $g Александр Федорович  $c кандидат технических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar81841  $a Институт физики твердого тела и полупроводников  $c Минск  $4 995 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar198721  $a Физико-технический институт  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19980909  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br226883&fileID=160921 

Схожие документы