Спектрально-кинетические исследования карбонилсодержащих маскирующих материалов в реакциях взаимодействия с потоками заряженных и нейтральных частиц: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.05 Оптика / Туромша Евгений Петрович

Сохранено в:
Шифр документа: Ба205626,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Туромша, Е. П.
Опубликовано: Минск , 1985
Физические характеристики: 15 с., включая обложку : табл.
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
ТРАВЛЕНИЕ
ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ФОТОРЕЗИСТЫ
ПОЛИМЕРНЫЕ КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
КАРБОНИЛЫ МЕТАЛЛОВ
ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ИЗЛУЧЕНИЯ С ВЕЩЕСТВОМ
СПЕКТРАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br226234
005 20220415113016.0
100 # # $a 19981204d1985 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Спектрально-кинетические исследования карбонилсодержащих маскирующих материалов в реакциях взаимодействия с потоками заряженных и нейтральных частиц  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.05 Оптика  $f Туромша Евгений Петрович  $g Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина 
210 # # $a Минск  $d 1985 
215 # # $a 15 с., включая обложку  $c табл. 
320 # # $a Библиография: с. 14―15 (12 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18376  $a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34342  $a ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3128229  $a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2451365  $a ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12162  $a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8924629  $a СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1596592  $a ФОТОРЕЗИСТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2643328  $a ПОЛИМЕРНЫЕ КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar59384  $a КАРБОНИЛЫ МЕТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5281786  $a ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ИЗЛУЧЕНИЯ С ВЕЩЕСТВОМ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31457  $a СПЕКТРАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1583164  $a ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 535.338.1(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 533.92.085.2(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.31.21  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.31.26  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.51  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.49  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.05  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-SEK-314877  $a Туромша  $b Е. П.  $g Евгений Петрович  $c кандидат физико-математических наук 
712 0 2 $3 BY-SEK-980479  $a Белорусский государственный университет имени В. И. Ленина  $c Минск  $4 995 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2446913  $a Институт прикладных физических проблем имени А. Н. Севченко  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19981204  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba205626.pdf 

Схожие документы