Динамика дефектов и напряженное состояние кристаллической решетки кремния при ионной имплантации и импульсном фотонном отжиге: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков / Квасов Николай Трофимович
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Квасов, Н. Т. (род. 1949) |
| 出版: | Минск , 1984 |
| 實物描述: |
16 с. : ил.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: | |
| 在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||