Динамика дефектов и напряженное состояние кристаллической решетки кремния при ионной имплантации и импульсном фотонном отжиге: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков / Квасов Николай Трофимович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Квасов, Н. Т. (род. 1949) |
| Опубликовано: | Минск , 1984 |
| Физические характеристики: |
16 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||