Динамика дефектов и напряженное состояние кристаллической решетки кремния при ионной имплантации и импульсном фотонном отжиге: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков / Квасов Николай Трофимович

Сохранено в:
Шифр документа: Ба199090,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Квасов, Н. Т. (род. 1949)
Опубликовано: Минск , 1984
Физические характеристики: 16 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
КРЕМНИЙ
ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ
ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br225860
005 20191213121829.0
100 # # $a 19980930d1984 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Динамика дефектов и напряженное состояние кристаллической решетки кремния при ионной имплантации и импульсном фотонном отжиге  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков  $f Квасов Николай Трофимович  $g Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина 
210 # # $a Минск  $d 1984 
215 # # $a 16 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 15―16 (9 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23928  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5290502  $a ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar87382  $a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.592:621.793.184:621.9.048.7(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 29.19.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 45.09.35  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.01  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-518314  $a Квасов  $b Н. Т.  $g Николай Трофимович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1949 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar5102567  $a Минский радиотехнический институт  $4 595 
712 0 2 $3 BY-SEK-980479  $a Белорусский государственный университет имени В. И. Ленина  $c Минск  $4 995 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19980930  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br225860&fileID=177504 

Схожие документы