Исследование процесса формирования пористого кремния и разработка на его основе межкомпонентной изоляции полупроводниковых интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Бондаренко Виталий Парфирович

Сохранено в:
Шифр документа: Ба172365,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Бондаренко, В. П.
Опубликовано: Минск , 1980
Физические характеристики: 24 с. : табл.
Язык: Русский
Предмет:
ИЗОЛЯЦИЯ (техн.)
КРЕМНИЙ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ІЗАЛЯЦЫЯ (тэхн.)
КРЭМНІЙ
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br225768
005 20170203141626.0
100 # # $a 19980619d1980 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование процесса формирования пористого кремния и разработка на его основе межкомпонентной изоляции полупроводниковых интегральных микросхем  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование  $f Бондаренко Виталий Парфирович  $g Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Минский радиотехнический институт 
210 # # $a Минск  $d 1980 
215 # # $a 24 с.  $c табл. 
320 # # $a Библиография: с. 23—24 (16 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11387  $a ИЗОЛЯЦИЯ (техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24604  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11388  $a ІЗАЛЯЦЫЯ (тэхн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24605  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83379  $a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-SEK-293088  $a Бондаренко  $b В. П.  $g Виталий Парфирович  $c кандидат технических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar5102567  $a Минский радиотехнический институт  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19980619  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/ba172365.pdf 

Схожие документы