Механические напряжения и их релаксация в полупроводниковых структурах с тонкими пленками: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / АН БССР, Ин-т электроники

Сохранено в:
Шифр документа: Ба241110,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Кирюшин, И. В.
Опубликовано: Мн. , 1989
Физические характеристики: 18 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br223664
005 20210118110240.0
100 # # $a 19980325d1989 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Механические напряжения и их релаксация в полупроводниковых структурах с тонкими пленками  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01)  $f АН БССР, Ин-т электроники 
210 # # $a Мн.  $d 1989 
215 # # $a 18 с. 
300 # # $a Библиогр.: с.16-18 (19 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35340  $a ПРУГКАСЦЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35339  $a УПРУГОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420682  $a РЕЛАКСАЦИЯ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64004  $a МЕХАНИЧЕСКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1:539.319(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 30.19.15  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-291161  $a Кирюшин  $b И. В.  $g Игорь Владимирович  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19980325  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/BA241110.pdf