Современные технологические процессы в микроэлектронике / Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Минский радиотехнический институт, Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры. Ч. 4 : Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами: методическое пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технологии микросхем", "Современные технологические процессы в производстве БИС и СБИС" для специальностей 0705, 0648 / С. В. Грушецкий, А. П. Достанко