|
|
|
|
|
00000cam2a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br209891 |
| 005 |
20210427135628.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 9 к.
|
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1981 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a j 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ga
$a gb
|
| 200 |
1 |
# |
$a Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами
$e методическое пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технологии микросхем", "Современные технологические процессы в производстве БИС и СБИС" для специальностей 0705, 0648
$f С. В. Грушецкий, А. П. Достанко
|
| 210 |
# |
# |
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 49 c.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 45―49 (81 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 461 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br636715G39940
$1 2001
$v Ч. 4
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34342
$a ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23658
$a ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34343
$a ТРАЎЛЕННЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23657
$a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2286649
$a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ
$2 BYGNR
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002;621.793
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.33
$2 rugasnti
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-176537
$a Грушецкий
$b С. В.
$g Святослав Васильевич
$c кандидат физико-математических наук
$f род. 1937
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2495390
$a Достанко
$b А. П.
$g Анатолий Павлович
$c доктор технических наук
$f 1937—2024
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
