Разработка режимов ионного легирования и создание технологических процессов изготовления кремниевых структур быстродействующих биполярных транзисторов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. тех. наук:: (05.27.01) / Е. В. Автюшков
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Автюшков, Е. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1989 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||