Разработка режимов ионного легирования и создание технологических процессов изготовления кремниевых структур быстродействующих биполярных транзисторов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. тех. наук:: (05.27.01) / Е. В. Автюшков

Сохранено в:
Шифр документа: Ба228674,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Автюшков, Е. В.
Опубликовано: Мн. , 1989
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br197719
005 20230426160248.0
100 # # $a 19930101d1989 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac 
200 1 # $a Разработка режимов ионного легирования и создание технологических процессов изготовления кремниевых структур быстродействующих биполярных транзисторов  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. тех. наук:  $e (05.27.01)  $f Е. В. Автюшков  $g АН БССР, Ин-т электроники 
210 # # $a Мн.  $d 1989 
215 # # $a 17 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 16―17 (10 назв.) 
300 # # $a Для служеб. пользования 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4167  $a БИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15093  $a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32977  $a ЦВЕРДАЦЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4168  $a БІПАЛЯРНЫЯ ТРАНЗІСТАРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4728  $a БЫСТРОДЕЙСТВИЕ  $2 DVNLB 
610 0 # $a Режимы легирования 
610 0 # $a Рэжымы легіравання 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.33.002  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.03.11  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-271847  $a Автюшков  $b Е. В.  $g Евгений Викторович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo