Создание унифицированных технологических и транспортных модулей для гибких производственных систем изготовления СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / АН БССР, Ин-т электроники
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Громов, В. В. |
| Publicado: | Мн. , 1987 |
| Descripción Física: |
25 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: | |
| Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||