Создание унифицированных технологических и транспортных модулей для гибких производственных систем изготовления СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / АН БССР, Ин-т электроники
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Громов, В. В. |
| Published: | Мн. , 1987 |
| Physical Description: |
25 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||