Формирование омических контактов тугоплавкий металл-кремний при ионной имплантации в область границы раздела: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.2.01) / АН БССР, Ин-т электроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бобченок, Ю. Л. (род. 1946) |
| Опубликовано: | Мн. , 1987 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||