|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br193996 |
| 005 |
20221216163803.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1987 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование омических контактов тугоплавкий металл-кремний при ионной имплантации в область границы раздела
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.2.01)
$f АН БССР, Ин-т электроники
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с.14-16 (27 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24592
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34794
$a ТУГОПЛАВКИЕ МЕТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12159
$a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34795
$a ТУГАПЛАЎКІЯ МЕТАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24593
$a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7329625
$a ОМИЧЕСКИЕ КОНТАКТЫ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002:621.7/9.048.7
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-267073
$a Бобченок
$b Ю. Л.
$g Юрий Леонидович
$c кандидат технических наук, электроника
$c интеллектуальная собственность
$f род. 1946
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba250734.pdf
|
