Разработка теоретических и технологических основ создания прецизионного технологического оборудования электронного машиностроения для субмикронных производств: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.07 / Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад38285, 2Н//181503(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Русецкий, А. М. (род. 1951)
Опубликовано: Мн. , 1999
Физические характеристики: 36 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br178771
005 20131002101243.0
100 # # $a 19991217d1999 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Разработка теоретических и технологических основ создания прецизионного технологического оборудования электронного машиностроения для субмикронных производств  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук  $e 05.27.07  $f Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники 
210 # # $a Мн.  $d 1999 
215 # # $a 36 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 30-33 (42 назв.) Для служеб. пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39064  $a ЭЛЕКТРОННОЕ МАШИНОСТРОЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39065  $a ЭЛЕКТРОННАЕ МАШЫНАБУДАВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33891  $a ТЭХНАЛАГІЧНАЕ АБСТАЛЯВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1611433  $a СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1611436  $a СУБМІКРОННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
607 # # $3 BY-NLB-ar42134  $a Беларусь 
607 # # $3 BY-NLB-ar42135  $a Беларусь 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77.002.5(476)(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.07  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-318973  $a Русецкий  $b А. М.  $g Анатолий Максимович  $c доктор технических наук  $f род. 1951 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19991217  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad38285.pdf