Генерация, взаимодействие и отжиг радиационных дефектов в кремнии, арсениде галлия и высокомолекулярных соединениях при последовательной ионной имплантации: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / Ин-т физики твердого тела и полупроводников Нац. акад. наук Беларуси

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад38034, 2Н//181195(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Оджаев, В. Б. (род. 1955)
Опубликовано: Мн. , 1999
Физические характеристики: 34 с.
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКИ
РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
КРЕМНИЙ
АРСЕНИД ГАЛЛИЯ
ГЕНЕРАЦИЯ (физ., техн.)
ОТЖИГ
ПАЎПРАВАДНІКІ
РАДЫЯЦЫЙНЫЯ ДЭФЕКТЫ
КРЭМНІЙ
АРСЕНІД ГАЛІЮ
ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
ГЕНЕРАЦЫЯ (фіз., тэхн.)
АДПАЛ
ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br177672
005 20131001094648.0
100 # # $a 19991124d1999 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Генерация, взаимодействие и отжиг радиационных дефектов в кремнии, арсениде галлия и высокомолекулярных соединениях при последовательной ионной имплантации  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук  $e 01.04.10  $f Ин-т физики твердого тела и полупроводников Нац. акад. наук Беларуси 
210 # # $a Мн.  $d 1999 
215 # # $a 34 с. 
300 # # $a Библиогр.: c. 24-32 (87 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6882  $a АРСЕНИД ГАЛЛИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7078  $a ГЕНЕРАЦИЯ (физ., техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26910  $a РАДЫЯЦЫЙНЫЯ ДЭФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6883  $a АРСЕНІД ГАЛІЮ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7079  $a ГЕНЕРАЦЫЯ (фіз., тэхн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22259  $a АДПАЛ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24593  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.592.002(043.3)  $v 3  $z rus 
675 # # $a 537.311.322:539.2(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 45.09.35  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-315653  $a Оджаев  $b В. Б.  $g Владимир Борисович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1955 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19991124  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad38034.pdf 

Схожие документы