Исследование физических механизмов и динамики анизотропного локального плавления поверхности кремния при импульсном световом облучении: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Казан. гос. ун-т им. В.И.Ульянова-Ленина

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад36724,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Львова, Т. Н.
Опубликовано: Казань , 1999
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br174866
005 20070615190908.1
100 # # $a 19990826d1999 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование физических механизмов и динамики анизотропного локального плавления поверхности кремния при импульсном световом облучении  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.07  $f Казан. гос. ун-т им. В.И.Ульянова-Ленина 
210 # # $a Казань  $d 1999 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 14-16 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21129  $a ОБЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35849  $a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23635  $a ПЛАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21130  $a АБПРАМЕНЬВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35850  $a ФІЗІКА ЦВЁРДАГА ЦЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23636  $a ПЛАЎЛЕННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22259  $a АДПАЛ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35612  $a ФАЗАВЫЯ ПЕРАХОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35611  $a ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.21  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-462702  $a Львова  $b Т. Н.  $g Татьяна Николаевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19990826  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo