Планаризация диэлектрика и повышение термостабильности алюминия при создании интегральных схем: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Н.-и. конструкт.-технол. предприятие "Белмикросистемы" НПО "Интеграл"
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пономарь, В. Н. |
| Опубликовано: | Мн. , 1998 |
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||